From data to decarbonization: enhancing process greenhouse gas visibility in semiconductor manufacturing

データから脱炭素へ：半導体製造におけるプロセス温室効果ガスの可視性向上 (AI 翻訳)

Hong Zhao, Synn Nee Chow, Frank Cheng, Vernon Lim, Kevin Chan, Lipeng Qian

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology📚 査読済 / ジャーナル2026-05-26#Scope 1/2

DOI: 10.1117/1.jmm.25.3.031407

原典: https://doi.org/10.1117/1.jmm.25.3.031407

🤖 gxceed AI 要約

日本語

半導体製造におけるプロセスGHG排出の可視化手法を提案。データ駆動で脱炭素を促進。

English

This paper proposes methods to enhance visibility of process greenhouse gas emissions in semiconductor manufacturing, enabling data-driven decarbonization strategies.

Unofficial AI-generated summary based on the public title and abstract. Not an official translation.

📝 gxceed 編集解説 — Why this matters

日本のGX文脈において

半導体製造は日本の主要産業であり、プロセスGHGの可視化は国内のGX戦略に直結する。SSBJや有報でのGHG開示要件が強化される中、本手法は実務に貢献。

In the global GX context

Semiconductor manufacturing is a key sector globally, and enhancing GHG visibility supports corporate climate disclosure under frameworks like TCFD and ISSB. This paper addresses a critical gap in process emissions accounting.

👥 読者別の含意

🔬研究者:Highlights the need for granular GHG monitoring in high-tech manufacturing.

🏢実務担当者:Provides actionable approach to measure and reduce process emissions in semiconductor fabs.

🏛政策担当者:Supports development of sector-specific emission factors and reporting guidelines.

🔗 Provenance — このレコードを発見したソース

crossref https://doi.org/10.1117/1.jmm.25.3.031407first seen 2026-05-27 05:05:54

🔔 こうした論文の新着を逃したくない方はキーワードアラートに登録（無料・3キーワードまで）。

gxceed は公開メタデータに基づく研究支援データセットです。要約・翻訳・解説は AI 支援で生成されています。最終的な解釈・検証は利用者が原典資料に基づいて行うことを前提とします。